Bd.10(2007):154-174_Gommel

 

Karl-Werner Gommel (Jena)
Geräteentwicklungen für die Fotolithografie bei Carl Zeiss Jena
Alexander Heyroth zum 80 Geburtstag gewidmet
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 10 (2007), S. 154-174

Inhalt:
Beschrieben werden folgende Geräteentwicklungen:
- Automatischer Neunfachrepeater (ANR)
- Universal-Einfachrepeater (UER)
- Automatischer Einfachrepeater (AER)
- Masken-Projektions-Überdeckungsrepeater (MPÜR)
- Automatischer Überdeckungsrepeater (AÜR)
- Defektkontrollgerät (DKG)
- Projektions-Justier- und Belichtungseinrichtung (JuBPM)

>zurück