Peter Hahmann (Jena)
Eberhard Hahn: Entwickler auf dem Gebiet der Elektronenoptik
Jenaer Jahrbuch zur Technik – und Industriegeschichte Band 17 (2014), S. 11-53
Inhalt:
Eberhard Hahn war ein außerordentlich begabter Theoretiker und Erfinder. Vier Jahrzehnte prägte er die elektronenoptischen Aktivitäten im VEB Carl Zeiss Jena. Das waren die elektrostatischen und magnetischen Elektronenmikroskope sowie die Elektronenstrahl- Lithographie mit Einstrahl- und Vielstrahlsystemen. Einerseits schaffte er das Rüstzeug, um die optischen Eigenschaften der Geräte zu berechnen und zu optimieren. Andererseits haben viele seiner Ideen zu neuen Wirkprinzipien zum internationalen Erfolg der Elektronenstrahlgeräte aus Jena beigetragen.
In diesem Beitrag wird das Lebenswerk von Eberhard Hahn ausführlich und fachlich tiefgründig gewürdigt. Der Autor war an der Umsetzung der Konzepte Eberhard Hahns zu Elektronenstrahl-Lithographieanlagen in die Praxis beteiligt. Viele der hier geschilderten Fakten und Eindrücke gehen daher auf eigenes Erleben zurück.