Vortragsveranstaltung im Rahmen des Technikgeschichtlichen Kolloquiums
Vortragender:
Matthias Slodowski (Vistec Electron Beam GmbH in Jena)
Thema:
Elektronenstrahl-Lithographie:
Geschichte und aktuelle Technologie- und Anwendungs-Tendenzen“
Zeit:
Dienstag, 16. September 2025 um 18.00 Uhr
Ort:
Hörsaal 250 im Universitäts-Hauptgebäude